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  而纯电子设备的使用已经不能满足MEMS执行器或传感器等微型电机结构部件的振动测试要求,因此需要合适的光学测量方法。

  上有效的测量MEMS芯片

  芯片进行分离前的晶圆级测试数据可以在早期发展生产中去除故障芯片,从而在保持一个较高的产量和质量管理水平的同时,保持相对较低的MEMS生产经营成本。虽然电气系统测试是这里的标准,但光学测量通常我们需要进行执行一些测试工作任务来直接通过验证机械性能。



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