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  纯电子设备的使用已不能满足MEMS执行器或传感器等微电机结构部件振动测试的要求,因此需要采用合适的光学测量方法。

  上有效的测量MEMS芯片

  芯片分离前的晶圆级测试可以在早期生产中去除故障芯片,从而在保持较高的产量和质量水平的同时,保持较低的MEMS生产成本。虽然电气测试是这里的标准,但光学测量通常需要执行一些测试任务来直接验证机械性能。



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